薄膜・ナノ構造作製装置

5源超高真空金属MBE装置

6源超高真空MBE装置

6源超高真空化合物半導体MBE装置

パルスレーザー堆積装置

パルスレーザー堆積装置2号機

パルスレーザー堆積装置3号機

4源超高真空スパッタリング装置

7源超高真空スパッタリング装置

小型3源蒸着装置

電子線描画装置

光露光装置

ECRプラズマエッチング装置

ワイヤーボンダー

赤外線ランプ加熱装置

小型アーク溶解炉
磁性・誘電性・構造評価装置

スピンダイナミクス-偏向EL測定装置

温度可変ベクトル磁気特性評価装置

温度可変磁気光学Kerr効果測定装置

磁気光学Kerr効果顕微鏡

温度可変高周波スピン波検出装置

強誘電体特性評価装置

温度可変強磁場磁気抵抗測定装置

温度可変磁気抵抗測定装置

フェムト秒レーザー

薄膜X線構造解析装置

触針式膜厚計

プローブ顕微鏡(AFM, MFM, PFM)
〒464-8602
名古屋市千種区不老町
名古屋大学大学院理学研究科
理学館416室(谷山教授室)
052-789-2886
理学館418室(学生居室)
052-789-2870