薄膜・ナノ構造作製装置
5源超高真空金属MBE装置
6源超高真空MBE装置
6源超高真空化合物半導体MBE装置
パルスレーザー堆積装置
パルスレーザー堆積装置2号機
パルスレーザー堆積装置3号機
4源超高真空スパッタリング装置
7源超高真空スパッタリング装置
小型3源蒸着装置
電子線描画装置
光露光装置
ECRプラズマエッチング装置
ワイヤーボンダー
赤外線ランプ加熱装置
小型アーク溶解炉
磁性・誘電性・構造評価装置
スピンダイナミクス-偏向EL測定装置
温度可変ベクトル磁気特性評価装置
温度可変磁気光学Kerr効果測定装置
磁気光学Kerr効果顕微鏡
温度可変高周波スピン波検出装置
強誘電体特性評価装置
温度可変強磁場磁気抵抗測定装置
温度可変磁気抵抗測定装置
フェムト秒レーザー
薄膜X線構造解析装置
触針式膜厚計
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