薄膜・ナノ構造作製装置
![](_src/705/mbe2.jpg)
5源超高真空金属MBE装置
![](_src/707/mbe1-2.jpg)
6源超高真空MBE装置
![](_src/709/mbe3.jpg)
6源超高真空化合物半導体MBE装置
![](_src/875/pld-2.jpg)
パルスレーザー堆積装置
![](_src/711/pld2.jpg)
パルスレーザー堆積装置2号機
![](_src/889/pld3.jpg)
パルスレーザー堆積装置3号機
![](_src/713/sputter1.jpg)
4源超高真空スパッタリング装置
![](_src/719/sputter2.jpg)
7源超高真空スパッタリング装置
![](_src/715/evaporator.jpg)
小型3源蒸着装置
![](_src/721/e-lithography.jpg)
電子線描画装置
![](_src/723/photolithograpy.jpg)
光露光装置
![](_src/717/etching.jpg)
ECRプラズマエッチング装置
![](_src/735/img20180131220151542764.jpg)
ワイヤーボンダー
![](_src/497/img20180131220030562189.jpg)
赤外線ランプ加熱装置
![](_src/499/img20180131220300399772.jpg)
小型アーク溶解炉
磁性・誘電性・構造評価装置
![](_src/733/scmag.jpg)
スピンダイナミクス-偏向EL測定装置
![](_src/725/vsm_20200319173706492.jpg)
温度可変ベクトル磁気特性評価装置
![](_src/727/kerr1.jpg)
温度可変磁気光学Kerr効果測定装置
![](_src/895/moke_microscope.jpg)
磁気光学Kerr効果顕微鏡
![](_src/729/spin_wave_20200319173706695.jpg)
温度可変高周波スピン波検出装置
![](_src/501/img20180131220313711855.jpg)
強誘電体特性評価装置
![](_src/883/supermag2.jpg)
温度可変強磁場磁気抵抗測定装置
![](_src/881/transport.jpg)
温度可変磁気抵抗測定装置
![](_src/731/laser.jpg)
フェムト秒レーザー
![](_src/810/xrd.jpg)
薄膜X線構造解析装置
![](_src/816/step_profile.jpg)
触針式膜厚計
〒464-8602
名古屋市千種区不老町
名古屋大学大学院理学研究科
理学館416室(谷山教授室)
052-789-2886
理学館418室(学生居室)
052-789-2870